FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型
集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到最新的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
最大观察样品:Ø300 mm晶片
观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；
使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；
物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；
主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；
规格 |
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
(落射照明型） |
（透射/落射照明型） |
主机 |
内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源 |
用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、 |
光圈叶片控制器 |
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物镜转换器：具备物镜转换器 |
对中功能的电动通用六座物镜转换器 |
— |
反射/透射切换器 |
调焦
部分 |
对焦部:行程29mm |
粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能) |
微调:0.1mm/转(以um为单位) |
反射
照明部 |
12V50W高亮度卤素灯照明装置 |
孔径光阑（电动.可调心)、视场光阑（固定.带对焦目标) |
可插入小孔光阑滑块(OPTION) |
可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器 |
观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光 |
（仅用于L300N/L300ND/L200ND） |
透射
照明部 |
— |
12W50W高亮度卤素灯
照明装置 |
内置孔径光阑 |
内置LWD聚光器 |
接口 |
USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 |
镜筒 |
L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°） |
视场数25、光分光100：0/0：100 |
L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°） |
视场数25、光分光100：0/20：80 |
LV-T13正立三目镜筒 |
视场数25、光分光100：0/0：100 |
目镜 |
CFI目镜 |
物镜 |
CFI60系列物镜 |
载物台 |
14x12载物台、行程354mmx302mm |
（透射观察范围：354mmx268mm） |
带粗/微动切换功能 |
微动手轮位置固定 |
防静电
功能 |
从1000到10V放电时间在0.2秒以内 |
耗电 |
1.2A/90W |
尺寸 |
约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时） |
