| 型号 |
VMZ-S3020 |
VMZ-S4540 |
VMZ-S6555 |
| XYZ量程 |
300×200×200 mm
*TZ型低倍物镜: 250×200×200 mm |
450x400x200 mm
*TZ型低倍物镜: 400x400x200mm |
650x550x200 mm
*TZ型低倍物镜: 600x550x200mm |
| 最小读数 |
0.01 μm |
| 最大载重量 |
20 kg (精度保证: 5 kg) |
40 kg (精度保证: 20 kg) |
50 kg (精度保证: 30 kg) |
| 最大允许误差(L: 长度mm) |
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm |
测头误差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
画面内测量误差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm |
| 相机 |
黑白 / 彩色 1/3 CMOS Camera |
| 镜头工作距离 |
Type 1, 2, 3: 50mm
Type 4: 30mm
Type TZ: (高倍物镜) 11 mm / (低倍物镜) 32 mm
Type A: 73.5 mm (带激光63 mm) |
| 激光对焦再现性 1),3) |
2σ ≦ 0.5 µm |
| 光源 |
反射, 透射, 3层8方向白色LED环光/Type 4 仅1层
Type TZ: 左物镜: 反射, 暗场 ; 右物镜: 反射, 透射, 暗场
Type A: 反射, 透射, 单层8方向白色LED环光 |
| 电源，功耗 |
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A |
| 外型尺寸 & 重量 |
主机带底座 (W×D×H): 700×730×1793 mm / 约 265 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 约 12 kg |
主机带底座 (W×D×H): 1000×1340×1818 mm / 约 510 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 约 12 kg |
主机带底座(W×D×H): 1200×1640×1818 mm / 约 740 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 约 12 kg |
| 占地大小 (W×D) 4) |
2700×2400 mm
|
3000×3000 mm
|
3200×3300 mm |
