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NEXIV VMZ-H系列高精度影像测量仪
高精度、高速度、方便易用的
微米级坐标测量
NEXIX VMZ-H3030达到NEXIV系列中的最高精度，兼具高度的易用性和高性能。
VMZ-H3030以高精度为核心
VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）机型，以及一系列高质量的光学器件，标配有TTL（通过镜头的）扫描激光器。该系统设计用于提供极高精度测量。
VHZ-H 为 NEXIV系列的最高精度,由于其独家的设计和结构，VMZ-H达到了NEXIV系列中的最高精度。
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5种光学变焦系统
有5种类型可供选择，以满足不同的视场和分辨率要求。 |
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快速高度测量
高精度、高速高度测量通过高精度透镜激光自动对焦实现，能够以每秒1000点的速度进行高速扫描。 |
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测量困难样本的能力
利用尼康独家的照明配件，可以轻松测量难测的边缘和特征。 |
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不间断自动测量
即使部件定位发生变化，也可以实现精确测量。 |
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请联系当地销售025-85334943
| 型号 |
VMZ-H3030 |
XYZ 量程 |
300x300x150 mm |
最小读数 |
0.01 μm |
最大载重量 |
30 kg (精度保证: 10 kg) |
最大允许误差
(20 kg以下) |
EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm |
精度保证温度 |
20 °C ± 0.5 K |
最大驱动速度 XY, Z |
100 mm/s , 50 mm/s |
最小驱动速度 XY, Z |
0.01 mm/s , 0.001 mm/s |
相机 |
VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相机为选配，仅适用于 Type 1, 2 和 3. |
工作距离 |
Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外环光时仅10 mm) /
Type 4: 30 mm
Type TZ: 31 mm (低倍物镜), 11 mm (高倍物镜) |
自动对焦 |
影像, 激光 |
电源 |
AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
功耗 |
5A - 2.5 A |
外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 |
主机带底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 约 500 kg
控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 约 15 kg |
占地大小 (WxD) |
3000×2800 mm |
光源 |
Type 1, 2, 3 和 4 |
全白色LED反射, 透射, 3层8方向环光/Type 4 仅1层 |
Type TZ |
反射, 透射, 暗场 |
电源 |
AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
功耗 |
5 A - 2.5 A |
光学系统 |
光学倍率 |
视野大小 |
主要应用 |
Type 1 |
0.5X - 7.5X |
9.33×7.01~0.622×0.467 mm |
模具, 机械零件 (家电, 汽车), PCB, 电子零件 |
Type 2 |
1X - 15X |
4.67×3.5~0.311×0.233 mm |
Type 3 |
2X - 30X |
2.33×1.75~0.155×0.117 mm |
电子零件 |
Type 4 |
4X - 60X |
1.165×0.875~0.078×0.058 mm |
高密度封装基板 (线宽，间距，高度) |
Type TZ |
1X - 120X |
4.67×3.5~0.039×0.029 mm |
晶圆 (WLP, bump 高, 重布线模板, MEMS模板) |
*5 种光学系统可供选择.
* Type 1, 2, 3 提供低失真的清晰图像和大视野，
*Type 4 和 TZ 提供高倍率。
*5种光学系统应对不同的视野范围和倍率大小。
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