奥林巴斯OLS5100激光共聚焦显微镜/用于材料分析的激光扫描显微镜OLS5100

产品概述
技术参数
资料下载

OLS5100激光共聚焦显微镜

更智能的工作流程，更快速的实验设计，实现高效实验的实用功能
具有出色精度和光学性能的LEXT™OLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具。其能够快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的准确测量任务，既简化了工作流程又能让您获得可信赖的高质量数据。

二、OLS5100激光共聚焦显微镜产品特点：
1、简化测量检测流程
LEXTOLS5100显微镜的智能实验管理助手（SmartExperimentManager）通过自动完成需要耗费大量时间的任务帮助您简化实验工作流程。
•自动创建您的实验计划
•将数据自动填充到实验计划矩阵中，减少错误输入的机会
•一目了然的数据趋势可视化工具
•需要使用实验流辅助应用程序OLS51-S-ETA。
2、值得您信赖的数据
专为LEXT显微镜设计的物镜能够提供高度准确的数据，确保显微镜的测量精度。与智能物镜选择助手（SmartLensAdvisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
•针对405nm波长优化的LEXT光学器件可减少像差，从而能够在整个视场获取到样品的真实形貌
•智能物镜选择助手（SmartLensAdvisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量。
3、按下按钮即可获得可靠数据
精心设计的软件让新手和经验丰富的用户都能够轻松使用显微镜。
•轻松获得准确数据-将样品放在载物台上按下开始按钮即可
•在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果

三、体验激光显微镜的优势
1、亚微米3D观察/测量、观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差。
2、ISO25178-符合标准的表面粗糙度测量、可测量从线到面的表面粗糙度。
3、非接触、无损且快速、无需制备样品-只需将样品放在载物台上即可测量。

四、产品配置：
1、LEXTOLS5100显微镜配备彩色成像和激光共焦两套光学系统，能够同时获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
2、彩色光学系统、彩色成像光学系统使用白光LED光源和CMOS成像传感器获取彩色信息。
3、3D形貌信息和高分辨率图像、激光共焦光学系统采用405nm激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获取共聚焦图像。浅焦深特性使其能用于测量样品的表面不规则性。
4、用短波长激光光源的激光显微镜相比采用可见光（峰值550nm）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。OLS5100显微镜的405nm激光光源能够获得出色的横向分辨率。

主机

型号		OLS5100-SAF	OLS5100-SMF	OLS5100-LAF	OLS5100-EAF
总倍率		54x–17,280x
视场		16 µm–5,120 µm
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜颜色彩色DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2通道）彩色：CMOS彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5 nm
	动态范围	16位
	重复性σn -11 2 *5	5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
	准确度1 3 *5	0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）
	拼接图像准确度1 3 *5	10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
	测量噪声（Sq噪声）1 4 *5	1 nm（典型值）
宽度测量	显示分辨率	1 nm
	重复性3σn-1 1 2 *5	5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm
	准确度1 3 *5	测量值+/- 1.5%
	拼接图像准确度1 3 *5	10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度[mm]）
单次测量时*大测量点数量		4096 × 4096像素
*大测量点数量		3600万像素
XY载物台配置	长度测量模块	•	不适用	不适用	•
	工作范围	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动	300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
激光光源	波长	405 nm
	*大输出	0.95 mW
	激光等级	2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
电气功率		240 W	240 W	278 W	240 W
质量	显微镜主体	约 31 kg	约 32 kg	约 50 kg	约 43 kg
	控制箱	约 12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。