主机规格:
型号 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
总倍率 |
54x - 17,280x |
视场直径 |
16 μm - 5,120 μm |
测量原理 |
光学系统 |
反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC |
光接收元件 |
激光:光电倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相机 |
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 纳米 |
动态范围 |
16 位 |
可重复性 n-1 *1 *2 *6 |
20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm |
精度 *1 *3 *6 |
测量值 +/- 1.5% |
拼接图像精度 *1 *4 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) |
测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6 |
1 纳米 |
宽度测量 |
显示分辨率 |
1 纳米 |
可重复性 3 n-1 *1 *6 |
20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm |
精度 *1 *3 *6 |
测量值 +/- 1.5% |
拼接图像精度 *1 *3 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) |
单次测量时测量点的最大数量 |
4096 x 4096 像素 |
测量点的最大数量 |
3600 万像素 |
XY 载物台配置 |
长度测量模块 |
• |
无 |
无 |
• |
无 |
工作范围 |
100 x 100 mm 电动 |
100 x 100 mm 手动 |
300 x 300 mm 电动 |
100 x 100 mm 电动 |
100 x 100 mm 手动 |
最大样品高度 |
100 mm |
30 mm |
30 mm |
210 mm |
140 mm |
激光光源 |
波长 |
405 nm |
|
最大输出 |
0.95 mW |
|
激光分类 |
2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 |
白光 LED |
电气功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
质量 |
显微镜主体 |
约 31 公斤 |
约 30 公斤 |
约 50 公斤 |
约 43 公斤 |
约 39 公斤 |
控制器 |
约 12 公斤 |
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